特許
J-GLOBAL ID：200903000464840414
ペースト塗布機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-283482
公開番号（公開出願番号）：特開平8-141464
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】 高精細のペーストパターンであっても、生産工程を増すことなく、高精度に所望のペーストパターンで描画できるようにする。【構成】 基板7を移動させてペーストパターンPPを描画するときには、切替バルブ20を開いてレギュレータ23でシリンジ2内に正圧を加え、ノズル1のペースト吐出口から基板7上にペーストを吐出させる。パターンの描画終了点に達すると、切替バルブ20を閉じて切替バルブ21を開き、シリンジ2内を大気圧としてペースト吐出を止める。ノズル1が上昇した後、切替バルブ21を閉じて切替バルブ22を開き、真空タンク25からシリンジ2内に負圧を加え、その後、切替バルブ22を閉じて切替バルブ21を所定時間開き、シリンジ2内を大気圧とする。これにより、ノズル1内のペーストの先端がペースト吐出口の先端と一致させることができ、ペースト吐出口でのペーストの液溜りを防止できる。
請求項（抜粋）：
テーブル上に載置された基板にペースト収納筒に設けられたノズルのペースト吐出口を対向させ、該ペースト収納筒に収納されているペーストを該ノズルのペースト吐出口から該基板上に吐出させながら、該ノズルと該基板との上下,前後,左右方向の相対位置関係を変化させることにより、該基板上に所望のパターン形状にペーストを塗布して描画するペースト塗布機において、該ノズルと該基板との上下,前後,左右方向の相対位置関係を変化させて該基板上に所望のパターン形状にペーストを塗布して描画するとき、正圧を該ペースト収納筒内に印加し、ペーストを該ノズルのペースト吐出口から該基板上に吐出させる正圧印加手段と、該ペースト吐出口からの該ペーストの吐出後と該ペースト吐出口からの該ペーストの吐出前との少なくとも一方で、負圧を該ペースト収納筒内に印加する負圧印加手段とを設けたことを特徴とするペースト塗布機。
引用特許：
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