特許
J-GLOBAL ID:200903000468724400
光センサおよび三次元形状計測装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
平田 忠雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-078002
公開番号(公開出願番号):特開2001-264014
出願日: 2000年03月21日
公開日(公表日): 2001年09月26日
要約:
【要約】【課題】 小型かつ安価で、対象物体までの距離を短時間かつ高精度に計測することが可能な光センサおよび三次元形状計測装置を提供すること。【解決手段】 強度変調光が光センサ9に入射すると、各画素90の光電変換部PDは入射光を信号電流に光電変換し、電圧変換部Cj,MRは前記信号電流を逆極性の電荷の蓄積に反比例した電圧信号に変換し、平滑回路MSF,C,Rは前記電圧信号を平滑化する。このとき、前記光電変換部からの電流の振幅を電圧変換する際に倍増させる効果があるので、前記光電変換部からの電流の振幅が微小でも高精度な検出ができる。そして、読み出し手段91,92は前記複数の信号発生手段の前記平滑回路によって平滑化された前記電圧信号を読み出す。
請求項(抜粋):
入射光を信号電流に光電変換する光電変換部と、前記信号電流を電圧信号に非線型に変換する電圧変換部と、前記電圧信号を平滑化する平滑回路とを有して2次元状に配列された複数の信号発生手段と、前記複数の信号発生手段の前記平滑回路によって平滑化された前記電圧信号を読み出す読み出し手段とを備えたことを特徴とする光センサ。
IPC (7件):
G01B 11/00
, G01B 11/24
, G01C 3/06
, G01S 17/02
, H01L 27/146
, H01L 31/10
, H04N 5/335
FI (7件):
G01B 11/00 B
, G01C 3/06 Z
, H04N 5/335 Z
, G01B 11/24 A
, G01S 17/02 Z
, H01L 27/14 A
, H01L 31/10 G
Fターム (72件):
2F065AA06
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065GG03
, 2F065GG06
, 2F065GG08
, 2F065JJ03
, 2F065JJ18
, 2F065JJ26
, 2F065LL21
, 2F065LL30
, 2F065LL53
, 2F065NN08
, 2F065NN13
, 2F065QQ12
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
, 2F065QQ33
, 2F065SS02
, 2F065SS13
, 2F112AA09
, 2F112BA05
, 2F112BA10
, 2F112CA08
, 2F112DA28
, 2F112GA10
, 4M118AA02
, 4M118AB01
, 4M118CA02
, 4M118FA06
, 4M118FA34
, 4M118FA50
, 5C024AX02
, 5C024BX00
, 5C024CX00
, 5C024CX56
, 5C024CY44
, 5C024EX13
, 5C024EX41
, 5C024EX42
, 5C024GX03
, 5C024GX16
, 5C024GX18
, 5C024GX19
, 5C024GY39
, 5C024HX05
, 5C024HX40
, 5F049MA01
, 5F049NB07
, 5F049RA02
, 5F049RA06
, 5F049UA20
, 5J084AA05
, 5J084AA13
, 5J084AB16
, 5J084AD05
, 5J084BA04
, 5J084BA36
, 5J084BB01
, 5J084BB20
, 5J084BB24
, 5J084BB35
, 5J084CA07
, 5J084CA23
, 5J084CA31
, 5J084DA01
, 5J084EA04
, 5J084EA05
, 5J084EA31
, 5J084FA03
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