特許

J-GLOBAL ID：200903000470889263

液体噴射記録ヘッドの製造方法

発明者： 稲本 忠喜 ,  芝 昭二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丹羽 宏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049760
公開番号（公開出願番号）：特開平8-244236
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】【目的】 精密であり、信頼性の高い液体噴射記録ヘッドの製造方法。【構成】 液体露出エネルギー発生素子2を有する基板1の上に液体流路のパターン状に設けた感光性材料の固体層3をジメチルスルホキシドを主成分とする溶剤を用いて除去することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に液流路のパターン状に感光性材料の固体層を設ける工程と、該固体層が設けられた前記基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設ける工程と、前記感光性材料の固体層を前記基板上より除去する工程を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、前記感光性材料固体層を除去する工程では、ジメチルスルホキシドまたはジメチルスルホキシドを主成分とする溶剤を用いて除去することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。