特許

J-GLOBAL ID：200903000495313579

流体振動型流量計における流体振動検出センサ

発明者： 宮崎 芳郎
出願人/特許権者： 矢崎総業株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143657
公開番号（公開出願番号）：特開平7-004996
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 センサ感度を向上して小型化を可能にした流体振動型流量計における流体振動検出センサを提供する。【構成】 流量を測定する流体振動型流量計における流体振動検出センサが、噴出流の流路を2値的に切り換えられて生じる、変動周期が等しくかつ互に逆位相の関係にある第1及び第2の振動圧力を、該振動圧力により変位する圧電膜222 により圧力変化を検出する。圧電膜が発生する電圧或いは電荷はその変位に比例する。圧電膜が、電極2222,2224及び圧電材料(ポリ尿素)2223の層を、圧電材料2223に比べ弾性率の極めて小さいフッ素系フイルムからなる基板2221に共に蒸着されて形成されている。圧電膜が多層構造である。基板が半円球状である。

請求項（抜粋）：

コアンダー効果によって側壁に沿ってながれる流体の噴出流の一部を帰還流路により噴出流の基部に帰還させることによって、噴出流の流路を2値的に切り換えられて生じる、変動周期が等しくかつ互に逆位相の関係にある第1及び第2の振動圧力を、該振動圧力により変位する圧電膜により圧力変化を検出し、該検出により圧電膜が発生する電圧或いは電荷の周波数を測定して流量を測定する流体振動型流量計における流体振動検出センサにおいて、前記圧電膜は、電極及び圧電材料の層が、該圧電材料よりも弾性率の小さい基板上に蒸着して形成されたことを特徴とする流体振動型流量計における流体振動検出センサ。

IPC (4件)：

G01F 1/20 ,  G01F 1/00 ,  G01L 9/00 ,  G01L 9/08