特許
J-GLOBAL ID：200903000496794600
ウエハステージからのウエハ脱着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-214257
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054604
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 ジョンソンラーベック効果を吸着原理とする静電チャック機構を備えたウエハステージにあっても、残留電荷に起因してウエハが静電チャックに密着したまま剥がれないといったトラブルが起こるのを防止した、ウエハステージからのウエハの脱着方法の提供が望まれている。【解決手段】 絶縁材料からなる誘電体3と導体からなる電極とを有する静電チャック機構5を備えたウエハステージ1に静電チャック機構5によってウエハWを密着固定し、ウエハWに処理を施した後、静電チャック機構5からウエハWを脱着することによりウエハステージ1からウエハWを脱着する際に、ウエハステージ1に超音波を印加しつつ、ウエハを脱着する。
請求項（抜粋）：
絶縁材料からなる誘電体と導体からなる電極とを有する静電チャック機構を備えたウエハステージに前記静電チャック機構によってウエハを密着固定し、該ウエハに処理を施した後、該静電チャック機構からウエハを脱着することによりウエハステージからウエハを脱着するに際して、前記ウエハステージに超音波を印加しつつウエハを脱着することを特徴とするウエハステージからのウエハ脱着方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
