慣性力センサ、およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田澤博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-139158
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329704
出願日： 2002年05月14日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】空気のリークのおそれが低減され、容易に小型化することができる封止構造の慣性力センサを提供する。【解決手段】慣性力センサは、慣性力に応じて移動可能な可動構造体10と、可動構造体10の変位を測定するための固定電極9が配置された内部空間30を画定する外壁5Aを有する。内部空間30の上方にはシリコンキャップウエハ7が配置され、外壁5Aの上部に接合されて内部空間30を封止する。シリコンキャップウエハ7には、固定電極9に由来する信号を外部に出力するか、固定電極9を制御するため信号を外部から入力するための入出力電極17が形成されている。

請求項（抜粋）：

慣性力に応じて移動可能な可動子と、前記可動子の変位を測定するための固定電極と、前記可動子および固定計測子が配置された内部空間を画定する壁部と、前記内部空間の上方に配置され、前記壁部の上部に接合されて前記内部空間を封止するシリコンキャップウエハと、前記シリコンキャップウエハに形成されており、前記固定電極に由来する信号を外部に出力するか、前記固定電極を制御するため信号を外部から入力するための入出力電極とを備えた慣性力センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 , G01P 15/08 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01P 15/125 Z , H01L 29/84 Z , G01P 15/08 P

Fターム (24件)：

4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA33 , 4M112DA01 , 4M112DA04 , 4M112DA06 , 4M112DA08 , 4M112DA09 , 4M112DA11 , 4M112DA13 , 4M112DA15 , 4M112DA18 , 4M112DA20 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA10 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112EA14 , 4M112FA20 , 4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-094169
容量型圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-086094 出願人：矢崎総業株式会社
特開平3-094169

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