特許
J-GLOBAL ID：200903000504524499
レーザ光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078601
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243120
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】本発明は、レーザ光学装置において、簡易な構成で酸素の吸収帯とほぼ重なつたスペクトル特性を持つレーザ光を使用し得るものを実現する。【構成】光学手段のレンズ鏡筒内及び又はレンズ鏡筒間でなる密閉空間の酸素を、脱酸素手段で吸収するようにしたことにより、光学手段に酸素の吸収帯とほぼ重なつたスペクトル特性を持つ例えばフツ化アルゴンを用いたエキシマレーザによるレーザ光を通過させる際にも、酸素の吸収によるレーザエネルギーの損失や有害ガスの発生及び透過率の変化による揺らぎ等の弊害を未然に防止し得る。
請求項（抜粋）：
酸素の吸収帯とほぼ重なつたスペクトル特性を持つレーザ光を出力するレーザ光源手段と、複数枚のレンズが配置されたレンズ鏡筒を複数組み合わせてなり、前記レーザ光が通過する光学手段と、該光学手段の前記レンズ鏡筒内及び又は前記レンズ鏡筒間に配置され、密閉空間中の前記酸素を吸収する脱酸素手段とを具えることを特徴とするレーザ光学装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
