特許
J-GLOBAL ID：200903000504721189
QCMセンサー装置および物質の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-352181
公開番号（公開出願番号）：特開2004-184256
出願日： 2002年12月04日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】質量検出用の圧電振動子を有するQCMセンサー装置おいて、振動子の周波数変化による質量の検出値が温度変化に依存して変動し、検出精度が低下する点を改良する。【解決手段】QCMセンサー装置を、複数の振動モードを有するとともに、少なくとも2つの振動モードでは、温度変化に対する共振周波数の変化率が(選択された温度範囲において)互いに異なる圧電振動子1と、前記圧電振動子を前記少なくとも2つの振動モード毎にそれぞれの共振周波数で振動させる発振回路2と、前記少なくとも2つの振動モード毎の共振周波数の変化を測定する周波数カウンター4と、前記少なくとも2つの振動モード毎の前記共振周波数の変化量に基づいて、吸着した物質の質量又は前記圧電振動子自体の温度変化量を求める演算手段5とを有するように構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電振動子をセンサーとし、前記圧電振動子の共振周波数の変化量に基づいて、前記圧電振動子の表面に吸着した物質の質量を測定するQCMセンサー装置において、複数の振動モードを有するとともに、少なくとも2つの振動モードでは、温度変化に対する共振周波数の変化率が所定の温度範囲においてお互いに異なる圧電振動子と、前記圧電振動子を前記少なくとも2つの振動モード毎にそれぞれの共振周波数で振動させる振動手段と、前記少なくとも2つの振動モード毎の共振周波数の変化量を測定する周波数測定手段と、前記少なくとも2つの振動モード毎の前記共振周波数の変化量に基づいて、吸着した物質の質量または前記圧電振動子自体の温度変化量を求める演算手段とを有することを特徴とするQCMセンサー装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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