特許
J-GLOBAL ID:200903000509149483

研削液供給装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 齋藤 義雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-307211
公開番号(公開出願番号):特開2003-117824
出願日: 2001年10月03日
公開日(公表日): 2003年04月23日
要約:
【要約】【課題】構造が簡単でかつ砥石車交換、ノズルの位置調整が容易で、研削液の流れが妨げられない研削液供給装置を提供する。【解決手段】砥石車2の表面に向けて直交する方向から研削液を供給する砥石表面用ノズル6と、研削加工が行われている研削点Gに向けて研削液を供給する研削点用ノズル7とを備え、前記両ノズル6、7は前記砥石表面車及び研削点Gに向けて徐々に屈曲し、前記両ノズル6、7の上部後方に研削液の供給ホース10が真っ直ぐに接続され、前記両ノズル6、7をスライド機構9によって前後方向にスライド可能に支持した。
請求項(抜粋):
砥石台の進退と共に移動し、研削液を供給する複数のノズルを備えた研削液供給装置であって、砥石車の表面に向けて直交する方向から研削液を供給する砥石表面用ノズルと、研削加工が行われている研削点に向けて研削液を供給する研削点用ノズルとを備え、前記両ノズルは前記砥石車表面及び研削点に向けて徐々に屈曲し、前記両ノズルの上部後方に研削液の供給ホースが真っ直ぐに接続され、前記両ノズルをスライド機構によって前後方向にスライド可能に支持したことを特徴とする研削液供給装置。
Fターム (3件):
3C047FF01 ,  3C047FF09 ,  3C047GG03
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 複合研削盤
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-067127   出願人:豊田工機株式会社
  • 半導体製造装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-123716   出願人:宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社
  • 特開平1-201036
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