熱処理方法および熱処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金坂憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-117288
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093851
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】ローディングエリア内から外部への特定のガスおよびパーティクルの漏洩を防止し、危険ガスを使用するプロセスを安全に行うことを可能とする。【解決手段】被処理体wの移載を行うローディングエリア11内から被処理体wを熱処理炉10内に搬入して所定の処理ガス雰囲気で熱処理する熱処理方法において、前記ローディングエリア11内を排気して一定の微陰圧に制御する。熱処理装置としては、ローディングエリア11内を排気する排気手段18と、ローディングエリア11内が一定の微陰圧になるように排気手段18を制御する制御装置25とを備える。ローディングエリア11内からの排気に含まれる特定のガスおよびパーティクルをフィルタ22,23により除去してもよい。微陰圧運用と微陽圧運用の何れかに選択的に切換可能としてもよい。

請求項１：

被処理体の移載を行うローディングエリア内から被処理体を熱処理炉内に搬入して所定の処理ガス雰囲気で熱処理する熱処理方法において、前記ローディングエリア内を排気して一定の微陰圧に制御することを特徴とする熱処理方法。

IPC (9件)：

H01L 21/22 511 , F27B 1/20 , F27B 1/26 , F27B 1/28 , F27D 7/02 , F27D 17/00 104 , F27D 19/00 , H01L 21/205 , H01L 21/324

FI (9件)：

H01L 21/22 511 B , F27B 1/20 , F27B 1/26 , F27B 1/28 , F27D 7/02 Z , F27D 17/00 104 G , F27D 19/00 D , H01L 21/205 , H01L 21/324 S

Fターム (21件)：

4K045AA07 , 4K045BA05 , 4K045BA08 , 4K045DA05 , 4K045GA08 , 4K056AA09 , 4K056BA01 , 4K056CA10 , 4K056DB08 , 4K056DC01 , 4K063AA05 , 4K063BA12 , 4K063CA02 , 4K063DA01 , 5F045BB14 , 5F045DP19 , 5F045EB08 , 5F045EB13 , 5F045EF20 , 5F045EG08 , 5F045GB06

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-064477
縦型熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-262151 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-128331 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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審査官引用 (4件)

特開平3-064477
縦型熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-262151 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-128331 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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