圧電振動子とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097299
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291590
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【構成】振動子10の少なくとも一方の面の振動部分13と支持部12の境界部に溝11を有する圧電振動子およびその製造方法。【効果】振動部分と支持部の境界部に溝を設けることにより、振動エネルギーを閉じ込めが可能となり、CI値を低下させて、副振動を抑制することが可能である。

請求項（抜粋）：