特許
J-GLOBAL ID：200903000511719009
ウエハ交換装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-261871
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094573
出願日： 1993年09月25日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ウエハの交換を迅速に行えるウエハ交換装置を提供する。【構成】 回転中心から120度ずつの角度で3方向に伸びる3つのアーム31と各アーム31の先端に設けたウエハチャック32とを備えたトリプルアーム3により、ウエハの供給位置でウエハを一のウエハチャック32Aに把持すると同時にウエハの交換位置でウエハを他のウエハチャック32Cに把持し、次いで、3つのウエハチャック32を、それぞれウエハの供給位置、ウエハディスクにおけるウエハの交換位置、ウエハの排出位置まで120度回転移動し、前記一のウエハチャック32Aのウエハをウエハ交換位置においてウエハディスク21に供給すると同時に前記他のウエハチャック32Cのウエハをウエハの排出位置において排出するようにして、ウエハの供給及び排出時間を短縮する。
請求項（抜粋）：
搬送アームによりウエハをウエハディスクに供給しウエハディスクからウエハを排出するためのウエハ交換装置において、前記搬送アームは、回転中心から120度ずつの角度で3方向に伸びる3つのアームと、各アームの先端に設けたウエハチャックとを備えたトリプルアームであって、前記トリプルアームは、前記3つのウエハチャックを、それぞれウエハの供給位置、ウエハディスクにおけるウエハの交換位置、ウエハの排出位置を順番に回転移動するものであり、ウエハの供給位置でウエハを一のウエハチャックに把持すると同時にウエハの交換位置でウエハディスク上のウエハを他のウエハチャックに把持し、次いで、3つのウエハチャックを120度回転し、前記一のウエハチャックのウエハをウエハ交換位置においてウエハディスクに供給すると同時に前記他のウエハチャックのウエハをウエハの排出位置において排出するようにしたことを特徴とするウエハ交換装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/265
