特許

J-GLOBAL ID：200903000517735308

加速度センサ

発明者： 根来 泰宏
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-153806
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340955
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 加速度センサのダイナミックレンジを拡げる。【構成】 重り部18の変位を規制するストッパ20の他、重り部18の変位を抑制するストッパ30を設ける。重り部18に大きな加速度が加わり大きな変位が生じた場合、まずストッパ30によりその変位が抑制され、さらに大きな変位が生じた場合にストッパ20により変位が規制される。ストッパ30により変位が抑制されるため加速度大の領域を変位として検出でき、ダイナミックレンジを拡げることができる。

請求項（抜粋）：

加速度が加わることにより変位する重り部と、重り部を支持する支持部と、重り部と支持部の間に介在し重り部の変位により歪む薄肉部と、薄肉部上に形成され薄肉部の歪みを検出する歪検出素子と、を備える加速度センサにおいて、変位可能領域内にとどめるよう重り部変位を阻止する第1のストッパと、重り部が変位可能領域内で所定値以上に変位した場合にその変位を制御する弾性体からなる第2のストッパと、を重り部の周囲に設けたことを特徴とする加速度センサ。