特許
J-GLOBAL ID：200903000518037477
熱電発電素子とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-314653
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135866
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 微小な熱電発電素子において、欠陥の検査および補修を容易に効率よく行う方法とその構造を提供することである。【解決手段】 n型熱電半導体の複数のn型棒状素子51とp型熱電半導体の複数のp型棒状素子52を絶縁層50を介して規則的に配置し固定した熱電発電素子ブロック53を形成する工程と、熱電発電素子ブロック53の配線端面および配線端面と同一面の絶縁層を平坦化する工程と、熱電発電素子ブロック53の非配線面でn型棒状素子51とp型棒状素子52を露出させる工程と、n型棒状素子51とp型棒状素子52の端部を導電体58で直列に接続し、複数の直列した熱電対を形成し、露出させたn型棒状素子51とp型棒状素子52上に配線パターンの外周部の導電体58と一体化した導電体58からなる検査補修用電極を形成する工程とを有する熱電発電素子とその製造方法。
請求項（抜粋）：
n型熱電半導体からなる複数のn型棒状素子とp型熱電半導体からなる複数のp型棒状素子とを絶縁層を介しつつ規則的に配置し固定した熱電発電素子ブロックと、熱電発電素子ブロックの配線端面でn型棒状素子とp型棒状素子の端部を直列に接続する導電体と、熱電発電素子ブロックの非配線面に露出した、配線パターンの外周部の電極と電気的接続を有したn型棒状素子とp型棒状素子を備えることを特徴とする熱電発電素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 35/32 A
, H01L 35/34
