特許
J-GLOBAL ID：200903000518218382
洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-294881
公開番号（公開出願番号）：特開平7-144179
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】脱フロン脱エタン洗浄液を用いる洗浄装置において、装置の洗浄機能の改善によって高洗浄度および均一洗浄性を確保するとともに、装置構成を簡素化して省スペースおよびコストの低減を図ることを目的とする。【構成】モータ20によって被洗浄物25を回転させて液流を発生させながら超音波を照射して複合洗浄を行う洗浄装置であって、各貯液タンク101,102には、ヒータ64,65直下にエアの吹き出し口103,104を設け、エアの吹き出しによる撹拌作用で液温を均一に保っている。
請求項（抜粋）：
超音波振動子が取り付けられた液槽と、この液槽へ供給される液体が貯えられた複数の貯液タンクとを備え、前記液槽内に収納された被洗浄物を回転させて液流を発生させながら、超音波を照射して洗浄を行う洗浄装置であって、前記貯液タンクには、該タンク内にエアを吹き出して液体を撹拌するエアの吹き出し口が設けられたことを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
B08B 3/10
, H01L 21/304 341
