電子線照射装置および電子線照射方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-002233
公開番号（公開出願番号）：特開2005-195469
出願日： 2004年01月07日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】小型で簡素かつ不活性ガスの使用量が少なく、被照射物処理のサイクルタイムが短い電子線照射装置を提供する。【解決手段】チャンバ51の内部で公転アーム部54にて搬送移動され、各々が被照射物40を支持した複数の内部搬送回動トレイ55を収容し、この内部搬送回動トレイ55の搬送経路に入替室部52および電子線照射部10を配置する。入替室部52は、チャンバ51の天板部の開口部52aに着脱する内部搬送回動トレイ55および外部の被照射物搬送装置60の外部搬送回動トレイ62で構成され、これらはチャンバ51内の不活性ガス雰囲気を維持するロードロック機能およびX線遮蔽機能を兼ねる。入替室部52での入替と並行して、電子線照射部10では内部搬送回動トレイ55が電子線照射室10aの一部を構成し、自転駆動機構30にて内部搬送回動トレイ55内で自転する被照射物40に電子線を照射する。【選択図】図1

請求項１：

被照射物を搬送する回動搬送機構と、前記回動搬送機構が収容される回動搬送室と、前記回動搬送室の一部に設けられ、前記被照射物を回転させながら電子線を照射する電子線照射部と、前記回動搬送室の一部に設けられ、前記被照射物を回動搬送室の内外へ出し入れする入替室と、前記回動搬送室の外部側に位置して前記入替室の一部を構成し、X線遮蔽機構と気密保持機構と被照射物保持機構とを有する外部被照射物保持台と、前記回動搬送室の内部側に位置して前記入替室の一部を構成し、X線遮蔽機構と気密保持機構と被照射物保持機構とを有し、前記回動搬送機構に支持された内部被照射物保持台と、前記回動搬送機構を回動させる回動機構および上下動させる上下動機構と、前記電子線照射部に設けられ、前記被照射物を回転させる回転機構と、を具備したことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (4件)：

G21K5/04 , A61L2/08 , G21K5/00 , G21K5/10

FI (4件)：

G21K5/04 E , A61L2/08 , G21K5/00 B , G21K5/10 T

Fターム (5件)：

4C058AA01 , 4C058BB06 , 4C058KK03 , 4C058KK22 , 4C058KK32

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-208325号公報
シリコンウエハ照射用電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-284378 出願人：日新ハイボルテージ株式会社
真空チャンバ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-157305 出願人：日新電機株式会社

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審査官引用 (9件)

電子線照射装置、電子線照射方法、ディスク状体の製造装置及びディスク状体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-274122 出願人：TDK株式会社
特開平3-285068
特開昭59-106923

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