特許
J-GLOBAL ID：200903000526420778
電子線縮小転写装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-285683
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102014
出願日： 1991年10月04日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 電子光学鏡筒を大型化することなく諸収差を良好に補正する。【構成】 電子銃から出力される電子線をコンデンサレンズを介してステンシルマスク3に照射し、このステンシルマスク3を透過した電子線を第1投影レンズ4及び第2投影レンズ5でターゲット6上に集束することにより、このターゲット6上にそのステンシルマスク3の縮小像を転写する転写装置において、その第1投影レンズ4の内部に円筒状の金属の電極8を設け、この電極8に所定の電圧を与える。
請求項（抜粋）：
電子銃から放出される電子線をコンデンサレンズを介してマスクに照射し、該マスクを透過した電子線を投影レンズでターゲット上に集束することにより、該ターゲット上に前記マスクの縮小像を転写する転写装置において、前記投影レンズの内部に光軸を中心として実質的に軸対称の導電性の電極を設け、該電極に所定の電圧を与えた事を特徴とする電子線縮小転写装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 341 B
, H01L 21/30 341 Q
