特許

J-GLOBAL ID：200903000527573470

めっき方法およびめっき装置

発明者： 依田 拓朗 ,  浅原 秀樹 ,  外園 岳彦 ,  礒部 光治
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (1件)： 堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-210247
公開番号（公開出願番号）：特開2006-028596
出願日： 2004年07月16日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】複数枚のウェハーに連続めっき処理を行う際に、その歩留まりを向上させる。【解決手段】ウェハーは、ローダー部2から前処理部3へ搬送されて前処理された後、めっき槽部5A〜5Dへ搬送されてめっき処理され、さらに、後処理部6へ搬送されて後処理される。ローダー部2でローダーオーバータイムが発生したとき、前処理が完了したウェハーが回収されてめっき槽部5A〜5Dに搬送されるとともに、めっき処理が完了したウェハーが回収されて後処理部6に搬送される。これにより、ウェハーの連続めっき処理中にローダー部2でローダーオーバータイムが発生しても、既にめっき段階またはめっき準備段階に移行しているウェハーについては、通常の処理が続行されて完成品となる。【選択図】図1

請求項１：

ワークが、ローダー部からめっき槽部へ搬送されてめっき処理された後、後処理部へ搬送されて後処理されるめっき方法であって、 前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無が判定されるローダーオーバータイム判定工程と、 前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークが回収されて前記後処理部に搬送されるワーク回収工程と を有することを特徴とするめっき方法。

IPC (1件)：

C25D 21/12

FI (1件)：

C25D21/12 E

引用特許：

出願人引用 (1件)

• めっき装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-176064   出願人：松下電器産業株式会社