特許

J-GLOBAL ID：200903000527681087

膜厚測定方法および膜厚測定装置

発明者： 上田 正紘 ,  石川 和彦 ,  岩田 耕一
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-067254
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101505
出願日： 2003年03月12日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】高解像度の分光器を用いることなく、簡易かつ安価な構成で、0.数μm程度の膜厚測定が可能な膜厚測定方法および膜厚測定装置を提供する。【解決手段】膜厚測定装置10は、半導体レーザ11から透明ポリエステルフィルム15に対して光を照射し、その正反射光強度をシリコンフォトダイオード18が検出して、透明ポリエステルフィルム15の膜厚を測定する。半導体レーザ11およびシリコンフォトダイオード18は、ステッピングモータにより、0°<θ0<90°の範囲内で移動する。膜厚測定装置10は、透明ポリエステルフィルム15に対する光の入射角を0.3°ずつ変更して、正反射光強度のデータをとることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被測定膜に対して光を照射し、正反射する光の光強度を測定して膜厚の測定を行う光干渉法を用いた膜厚測定方法において、 上記照射光の波長を一定として、上記被測定膜に対する光入射角を変化させて上記正反射光の光強度を測定し、その測定結果を示すグラフに基づいて膜厚を決定することを特徴とする膜厚測定方法。

IPC (1件)：

G01B11/06

FI (1件)：

G01B11/06 G

Fターム (26件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC02 ,  2F065DD06 ,  2F065EE04 ,  2F065FF49 ,  2F065FF51 ,  2F065GG06 ,  2F065GG14 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH09 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL30 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-075006
  
• 特開昭63-128210
  
• 特開昭58-075006
  
• 特開昭63-128210