特許
J-GLOBAL ID：200903000530006684
表面測定装置及び表面加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-310694
公開番号（公開出願番号）：特開平5-141912
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡(STM)や原子間力顕微鏡(AFM)において用いられる測定用探針の先端形状の評価を行うために、STMやAFMに電界イオン顕微鏡(FIM)を組み合わせたタイプの表面測定装置及び表面加工装置に係り、STMやAFM測定時に有効な探針先端をFIM測定時に正しく評価することのできる表面測定装置、及び表面加工装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、STMやAFMに電界イオン顕微鏡(FIM)を組み合わせたタイプの表面測定装置及び表面加工装置において、STMやAFMの探針先端形状を測定するために前記探針に相対するように設けられたチャンネルプレートの法線方向が可動となるよう前記チャンネルプレートを駆動する手段を備えたことを特徴とする表面測定装置及び表面加工装置である。
請求項１：
探針を試料表面近傍を走査して試料表面構造を測定する手段と、前記探針先端形状を測定する手段として前記探針に相対するように設けられたチャンネルプレートとを備えた表面測定装置において、前記チャンネルプレートの法線方向が可動となるよう前記チャンネルプレートを駆動する手段を備えたことを特徴とする表面測定装置。
IPC (2件)：
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