特許
J-GLOBAL ID：200903000530024992

プリアライメント装置及びこれを備えたアライメント装置及び液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器及び電子機器の製造方法

発明者：
小島 健嗣

小島 健嗣 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-276598
公開番号（公開出願番号）：特開2006-091418
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】 基板を狭持することなく、基板の位置決めを行うことができるプリアライメント装置及びこれを備えたアライメント装置及び液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器及び電子機器の製造方法を提供する。【解決手段】 マザー基板127を吸着テーブル19の上に載置したときに、マザー基板127の外形寸法W1よりも最短間隔W2が大きくなるようにマザー基板127に対してX方向の両側に配置したX方向ガイド部材85と、Y方向の両側に配置したY方向ガイド部材86と、マザー基板127を吸着テーブル19上に吸着して固定するエアー吸引・供給装置71とを有し、X方向ガイド部材85とY方向ガイド部材86に囲まれた領域内にマザー基板127を載置した後に、エアー吸引・供給装置71を用いて位置決めを行う。【選択図】 図5
請求項１：
ワークをテーブル上のワーク載置領域で位置決めを行うプリアライメント装置であって、 前記テーブルに設けられ、前記ワーク載置領域を挟むX方向の両側に配置されたX方向ガイド部材と、 前記テーブルに設けられ、前記ワーク載置領域を挟むY方向の両側に配置されたY方向ガイド部材とを有し、 前記X方向ガイド部材の最短間隔は、前記テーブル上で前記ワークの載置に必要なX方向の最短間隔よりも広く、前記Y方向ガイド部材の最短間隔は、前記テーブル上で前記ワークの載置に必要なY方向の最短間隔よりも広いことを特徴とするプリアライメント装置。
IPC (2件)：
G09F 9/00 ,  B05C 5/00
FI (2件)：
G09F9/00 338 ,  B05C5/00 101
Fターム (13件)：
4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38 ,  5G435AA17 ,  5G435GG12 ,  5G435KK03 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 露光装置の搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-158021   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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