露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武田元敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-282644
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134203
出願日： 1993年11月11日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】 NDフィルターがなくともコントラストの高い露光を実現でき、露光に関与する屈折部の幅も広く、精度と均一性の良好な同心円状周期グレーティングパターンを露光する装置を提供する。【構成】レーザー光源1を出射するレーザー光はシャッター2により光の通過を制御され、可変アッテネータ3により光量を段階的に調整される。また1/4波長板4を透過することで円偏光に、ビーム拡大レンズ5により集束光に変換され、空間フィルター6の円形スリット内に集光し、これを通過してコリメーションレンズ7によりビーム径の拡大された平面波に変換される。この平面波は干渉レンズ9の入射面9Pに垂直入射し、出射面9Sを光束12a,12b,12A,12Bのごとく屈折して感光膜11上に入射する。光束12aと12Aおよび12bと12Bは中心軸9Lに対し、それぞれ同一円周上の対角位置にあり、感光膜11上で光束12aはこれより内周側の光束12Bと、光束12Aはこれより内周側の光束12bと干渉し、全体として中心軸9Lを中心とする同心円の干渉縞を形成する。

請求項（抜粋）：

レーザー光源から出射するレーザー光を透過、屈折する屈折体と、前記レーザー光の光軸にほぼ直交する平板上に形成された感光膜とからなり、前記屈折体の屈折面は光軸を軸とする回転面であり、前記屈折面の各対角母線を屈折する光束が光軸近傍で交差,干渉して光軸法平面上で同心円状の周期的明暗縞をなし、この明暗縞が前記感光膜を感光する露光装置において、前記屈折面は2つの凸面を含み、外周側の凸面を屈折し光軸を通過した後の光束Aと、対角位置にある内周側の凸面を屈折し光軸を通過する前の光束Bとの干渉で前記明暗縞が得られ、干渉面上で光束Aは発散光、光束Bは集束光であることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G02B 5/18 , G03F 7/20 505

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭61-090185
特開昭63-177101
特開平1-144001

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