特許
J-GLOBAL ID：200903000535435222
半導体露光装置およびそのウエハチャッククリーニング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031338
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198470
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 チャック周辺の光学部品等を損傷させることなく、簡単にチャッククリーニングを実施出来る半導体露光装置およびウエハーチャッククリーニング方法を提供する。【構成】 露光すべきウエハを搭載固定するウエハチャック2を備えた半導体露光装置において、前記ウエハチャック2のウエハ搭載面の外周に該搭載面より突出した高さのフェンス1を設ける。ウエハチャッククリーニングは前記フェンスにクリーニングプレートを押し付けながら回転して行なう。
請求項（抜粋）：
露光すべきウエハを搭載固定するウエハチャックを備えた半導体露光装置において、前記ウエハチャックのウエハ搭載面の外周に該搭載面より突出した高さのフェンスを設けたことを特徴とする半導体露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
