インクジェットヘッド用振動板

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-003426
公開番号（公開出願番号）：特開平11-198368
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】【課題】相互干渉が発生して安定したインク滴吐出を行えない。【解決手段】 SUS板61にダイアフラム部を形成する熱硬化性及び熱可塑性ポリイミド62を直接成膜した。

請求項（抜粋）：

電気機械変換素子の変位で変形するダイアフラム部を有するインクジェットヘッド用振動板において、前記ダイアフラム部を形成する熱硬化性及び熱可塑性ポリイミドを金属部材に直接成膜したことを特徴とするインクジェットヘッド用振動板。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

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