特許
J-GLOBAL ID:200903000555184625

真空圧力スイング式吸着装置の整調方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 倉内 基弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-332855
公開番号(公開出願番号):特開平7-194919
出願日: 1994年12月15日
公開日(公表日): 1995年08月01日
要約:
【要約】【目的】 PSA又はVPSAの工程性能を高めるために吸着材容器を整調する方法を提供すること。【構成】 真空及びその他の圧力スイング式吸着システムの吸着容器をモニターし、システムを整調するために、容器の温度分布のアンバランスに応答して圧力均衡化及び、又は再加圧操作において修正調節を行うことを特徴とする。各容器の過大パージ又は過小パージを回避するためにパージ操作による整調操作を用いることも好ましい。
請求項(抜粋):
供給ガス流の1成分を他の成分から選択的に吸着することができる少くとも2つの吸着床を有し、各床は、(1) 供給ガスを中間圧から吸着高圧にまで再加圧する操作と、(2) 供給ガスを前記吸着高圧下にあるの供給端へ導入するとともに、吸着されにくい成分を該床の生成物端から抽出する操作と、(3) 該床を脱着低圧と吸着高圧との間の中間圧で他の床と圧力均衡させるために、該床の生成物端からガスを放出し、そのガスを初期低圧下にある他の床の生成物端へ導入する操作と、(4) 該床の供給端からガスを放出させて、該床を脱着低圧に降圧する向流減圧操作と、(5) 該床を前記中間圧で他の床と圧力均衡させるために、該床の生成物端へ該床より高い初期圧力下にある他方の床から放出されたガスを導入することにより該床を中間圧にまで昇圧する部分的再加圧又は圧力均衡化操作を順次に受けるようになされている、供給ガス流の1成分を分離して回収するための圧力スイング式吸着システムの整調方法において、(a) 各吸着床の温度分布を探知するために各吸着床の同じ部位の床温度をモニターし、(b) 各床の温度分布の変動によって判定されたアンバランスに応答して各床から流出する正味ガス量を調節し、その調節は、(1) 該システムの平常のバランスされた作動条件下での平常の温度分布を超過した温度範囲を有する1つの床の生成物端から放出されて他の床のための還流ガスとして用いられる該1つの床からのガスの正味量を増大させることにより該1つの床の温度分布曲線をその平常のバランスされた作動状態に引き下げ、(2) 該システムの平常のバランスされた作動条件下での平常の温度分布より低い温度範囲を有する1つの床の生成物端から放出されて他の床のための還流ガスとして用いられる該1つの床からのガスの正味量を減少させることにより該1つの床の温度分布曲線をその平常のバランスされた作動状態に立ち上げることによって実施され、それによって、プロセスの擾乱要因によってアンバランスにされた該システムを、該システムの安定した高性能を維持するためのバランス作動状態へ復帰させることを特徴とする整調方法。

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