特許
J-GLOBAL ID：200903000558277454
厚さ測定用治具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-236834
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065506
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 ハイトゲージにて基板等の厚さを測定する際の作業性を向上させるとともに、サブミクロン単位までの正確な測定を可能とする治具を提供する。【解決手段】 ハイトゲージにて測定対象物の厚さを測定する際に、測定対象物を載置して用いる治具である。当該治具1は平板状のベース2の表面の数箇所に、球体3を、その一部が露出し、かつ露出部分の高さが一定となるように埋設してなる。
請求項（抜粋）：
ハイトゲージにて測定対象物の厚さを測定する際に、測定対象物を載置して用いる治具であって、平板状のベースの表面の数箇所に、球体を、その一部が露出し、かつ露出部分の高さが一定となるように埋設してなることを特徴とする厚さ測定用治具。
Fターム (13件)：
2F062AA27
, 2F062AA55
, 2F062BB14
, 2F062BC28
, 2F062CC02
, 2F062CC22
, 2F062EE41
, 2F062EE62
, 2F062GG13
, 2F062GG29
, 2F062GG46
, 2F062MM02
, 2F062MM07
