基板面の不良検出装置、不良検出方法、及び不良検出のためのプログラムを記録した記録媒体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-371983
公開番号（公開出願番号）：特開2002-175520
出願日： 2000年12月06日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】低い分解能の画像を用いて、微少な異物を高精度で検出する。【解決手段】画像入力処理装置7の平滑フィルタ部7bは、注目画素周辺の抽出領域から該注目画素を含む無効領域を除いた残りの領域の各画素の値を平均化し、この平均値を注目画素の値として求める。差分処理部7cは、原画像の画素の値と平均化された該画素の値との差を求める。この差に基づいて、基板面の不良を検出する。無効領域に基板面の異物の像が入っている場合は、この異物の像の明度が無視された状態で、注目画素の明度が平均化される。従って、元の画素の明度と平均化された該画素の明度との差は、異物の像の明度をそのまま反映する。また、この様な差は、基板上の通常のパターンの像の明度変化をそのまま反映せず、この明度変化を抑制したものとなる。このため、各画素の差に基づいて、異物を確実に検出することができる。

請求項（抜粋）：

基板面に光を照射する光源と、この基板面を撮像する撮像手段と、この撮像手段によって生成された基板面を示す原画像の各画素を順次注目し、注目画素周辺の抽出領域から該注目画素を含む無効領域を除いた残りの領域の各画素の値を平均化し、この平均値を注目画素の値として求める平滑化フィルタ手段と、各画素毎に、原画像の画素の値と平滑化フィルタ手段により求められた画素の値との差を求める差分処理手段と、差分処理手段により求められた各画素の差に基づいて、基板面の不良を検出する検出手段とを備えることを特徴とする基板面の不良検出装置。

IPC (7件)：

G06T 1/00 305 , G01B 11/30 , G01N 21/956 , G06T 7/00 200 , G06T 7/00 300 , H01L 21/66 , H05K 3/00

FI (7件)：

G06T 1/00 305 A , G01B 11/30 A , G01N 21/956 A , G06T 7/00 200 C , G06T 7/00 300 E , H01L 21/66 J , H05K 3/00 Q

Fターム (92件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065BB17 , 2F065CC19 , 2F065CC31 , 2F065DD04 , 2F065DD06 , 2F065DD11 , 2F065EE03 , 2F065FF05 , 2F065GG01 , 2F065GG18 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065KK01 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL08 , 2F065PP11 , 2F065QQ06 , 2F065QQ13 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ27 , 2F065QQ29 , 2F065QQ33 , 2F065QQ34 , 2F065QQ42 , 2F065TT01 , 2F065UU05 , 2G051AA65 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051BA02 , 2G051BB09 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051DA01 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA23 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC03 , 2G051EC05 , 2G051ED04 , 2G051ED07 , 4M106AA01 , 4M106BA20 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB19 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA13 , 5B057BA15 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CE02 , 5B057CE05 , 5B057CE06 , 5B057CE11 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC22 , 5L096BA03 , 5L096CA05 , 5L096CA14 , 5L096CA17 , 5L096EA05 , 5L096GA06 , 5L096GA10 , 5L096GA34

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