特許

J-GLOBAL ID：200903000567697261

インクジェットヘッドの製造方法

発明者： 朽網 道徳 ,  中澤 明 ,  谷口 修 ,  塚田 峰春 ,  肥田 勝春
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 三井 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094851
公開番号（公開出願番号）：特開平11-314372
出願日： 1993年01月05日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】製造コストを大幅に削減することができ、しかも高精度で小型化が可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】シリコン単結晶ウェハ1に、インクに吐出圧力を加えるための圧力室2とそれに連なるインク流路3とを形成し、圧力室2に面する壁面の裏側に圧電材料を含有する圧電体ペーストを印刷した後加熱、焼成して圧電体層9を形成する。

請求項１：

シリコン単結晶ウェハに、インクに吐出圧力を加えるための圧力室とそれに連なるインク流路とを形成し、上記圧力室に面する壁面の裏側に圧電材料を含有する圧電体ペーストを印刷した後加熱、焼成して圧電体層を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-229279
  

審査官引用 (1件)

• 特開平4-229279