特許
J-GLOBAL ID：200903000569050338
積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-094116
公開番号（公開出願番号）：特開平10-290031
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 高湿度雰囲気中で使用したときにおいても内部電極の成分である例えば銀のマイグレーションを防止し、耐久性により一層優れた積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電素子2と内部電極3が交互に積層された積層体7からなり、内部電極3を積層体7の側面に設けた少なくとも一対の外部電極5と一層おきに電気的に接続して各圧電素子2の両面で少なくとも一対の対向電極を形成してなる積層型圧電アクチュエータ1おいて、内部電極3のうち積層体7の側面に露出した端部でかつ外部電極5と接続していない部分を絶縁体4で被覆した。
請求項（抜粋）：
圧電素子と内部電極が交互に積層された積層体からなり、内部電極を積層体の側面に設けた少なくとも一対の外部電極と一層おきに電気的に接続して各圧電素子の両面で少なくとも一対の対向電極を形成してなる積層型圧電アクチュエータにおいて、内部電極のうち積層体の側面に露出した端部でかつ外部電極と接続していない部分を絶縁体で被覆したことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 41/08 S
, H01L 41/08 Q
, H01L 41/22 Z
