特許
J-GLOBAL ID:200903000570763550

セラミックスヒーターの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-335654
公開番号(公開出願番号):特開平7-201458
出願日: 1993年12月28日
公開日(公表日): 1995年08月04日
要約:
【要約】【目的】複数のセラミックスヒーターを製造するのに際し、セラミックスヒーターの製造にかかる延べ時間を短くし、製造工程を簡略化し、製造設備の利用効率を向上させ、製造コストを低減すること【構成】セラミックス粉末からなる成形体の内部に抵抗発熱体を複数個埋設する。この成形体を焼成して焼成体7Aを製造する。焼成体7Aを分割することにより、複数個のセラミックスヒーター6と16とを作成する。例えば、成形体の形状を円盤状とし、成形体の内部に、内周側抵抗発熱体3Bと外周側抵抗発熱体3Aとを埋設する。焼成体7Aを分割し、内周側抵抗発熱体3Bが埋設されている円盤状のセラミックスヒーター16と、外周側抵抗発熱体3Aが埋設されている平面円環形状のセラミックスヒーター6とを製造する。
請求項(抜粋):
セラミックス基体内に抵抗発熱体が埋設されているセラミックスヒーターを製造する方法であって:セラミックス粉末からなる成形体の内部に前記抵抗発熱体を複数個埋設する工程;この成形体を焼成して焼成体を製造する工程;及びこの焼成体を分割することにより、前記セラミックスヒーターを複数個作成する工程を有することを特徴とする、セラミックスヒーターの製造方法。
IPC (3件):
H05B 3/20 356 ,  B28B 11/00 ,  B28B 23/00

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