特許

J-GLOBAL ID：200903000574085484

容量型センサの製造方法および容量型センサ

発明者： イーリ マレク ,  ヘルムート バウマン ,  ギュンター フィンドラー ,  ミヒャエル オッフェンベルク ,  マルティン ヴィルマン
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-256306
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203669
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【構成】 少なくとも1つの単結晶ウエーハ(3)から、少なくとも1つの板(2,4)をウエーハ(3)に対して絶縁して結合してなる容量型センサを、ウエーハ(3)と板(2,4)の複合体を分割線に沿って分割することによって製造する。分割線(6)上または該線に対して平行にみぞ(15,16,17)を設けて、個別化したセンサがウエーハ(3)および/または板(2,4)の端縁部分に切欠(21,22,25,26)を有するようにする。【効果】 正確に限定された漂遊容量を有する容量型センサを平行に大量生産でき、センサを個別化する際切断の位置の調整誤差および切断幅の変動が漂遊容量に影響を及ぼすことはない。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面が導電性の単結晶ウエーハ(3)から、該ウエーハを少なくとも1つの、少なくとも表面が導電性の板(2,4)と結合し、その際ウエーハ(3)と板(2,4)は互いに絶縁されており、ウエーハ(3)と板(2,4)の複合体を分割線(6)に沿って分割することによって製造される容量型センサの製造方法において、少なくとも部分的にウエーハ(3)および/または板(2,4)にみぞ(15,16,17)を、該みぞが分割線(6)上または該線に対して平行に存在するように設けることを特徴とする容量型センサの製造方法。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84