特許
J-GLOBAL ID：200903000574219928
マルチゾーン照明器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-088840
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267879
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハ処理用の、埋込まれた処理制御センサを有するマルチゾーン照明器を開示する。【構成】 マルチゾーン照明器130は、ランプハウジング200の反射器230部内に埋込まれた複数の光源ランプ220およびダミーランプ222を含む。光源ランプ220は、複数の同心円ゾーン内に配列される。照明器130は、半導体ウエハ60の温度および温度分布の一様性を測定するためのマルチポイント温度センサ206、211を収容する複数の光筒205、210を含む。ランプハウジング200の底面に金めっきされた反射板230が取付けられ、光エネルギーをウエハ60へ反射する。反射板230とウエハ60との間、およびランプ220とウエハ60との間の距離は、エレベータ300およびアダプタにより調節される。照明器130は、過渡および定常状態の双方において一様なウエハ加熱を可能ならしめる。他のデバイス、装置、方法も開示される。
請求項（抜粋）：
底部を有するランプハウジングと、前記底部内に埋込まれた複数の光源ランプであって、複数の同心円ゾーンに配列され、光エネルギーを発生し、かつ導くための、前記複数の光源ランプと、前記底部に取付けられ光エネルギーを反射し、導くための反射板と、及び光変調深さの測定のため前記底部内に埋込まれた少なくとも1つのダミーランプを含む光干渉除去回路(LIEC)と、前記少なくとも1つのダミーランプが前記複数の同心円のゾーンの少なくとも1つに関連しており、を具備する、半導体ウエハ処理用のマルチゾーン照明器。
IPC (2件)：
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