特許

J-GLOBAL ID：200903000585037147

露光装置

発明者： 町野 勝弥
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-126415
公開番号（公開出願番号）：特開平9-289160
出願日： 1996年04月23日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】 マスク上の大面積の回路パターンを基板上に高スループットを維持したまま高い解像力で転写することができる低コストの露光装置を提供する。【解決手段】 各直角ダハ・ミラー28を構成する第1ミラー28aと第2ミラー28bとの成す角を可変調整する角度調整手段(図2では図示せず)が設けられ、各直角ダハ・ミラー28の頂角の直角度が常に高精度に調整・維持される。このように高精度に頂角の直角度が調整された直角ダハ・ミラー28をそれぞれ含む複数の投影光学系25に対し、マスクと感光基板とを同期走査すれば、当該複数の投影光学系25を介してマスクの照明領域30のパターンが感光基板上の投影領域29に、高スループット且つ高解像力で逐次投影される。また、製造段階での、各直角ダハ・ミラー28の頂角の直角度をそれほど高精度に調整する必要がなくなるので、コストの低減をも図ることができる。

請求項（抜粋）：

マスクと感光基板とを所定の走査方向に同期して移動させつつ、複数の投影光学系を介して前記マスクのパターンを前記感光基板上に逐次転写する露光装置において、前記各投影光学系が、少なくとも一つのダハ面を有する第1ミラーと第2ミラーとから成る直角ダハ・ミラーを有し、前記マスクのパターンの正立像を前記感光基板上に形成する光学系であり、前記各直角ダハ・ミラーを構成する第1ミラーと第2ミラーとが成す角度を可変調整する角度調整手段が設けられていることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D