特許
J-GLOBAL ID:200903000587459006
磁気研磨装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 成示 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-135558
公開番号(公開出願番号):特開平10-329002
出願日: 1997年05月26日
公開日(公表日): 1998年12月15日
要約:
【要約】【課題】 研磨面を有する鉄芯と、この鉄芯を回転させる鉄芯駆動装置と、研磨面にテープ状の被加工材を送る送り装置と、この被加工材表面と研磨面との間のギャップに、粉状の磁性材を供給する磁性材供給装置と、このギャップに研磨剤を供給する研磨剤供給装置とからなる磁気研磨装置において、使用後の研磨面に付着した磁性材及び研磨剤、並ぶに研磨剤供給路に残存する研磨剤を容易に除去できる磁気研磨装置を提供すること。【解決手段】 鉄芯内部に回転軸を中心軸とする貫通孔を設け、この貫通孔内に内パイプと外パイプとを同軸に内設し、内パイプ内の空間と、内パイプと外パイプとの間の空間とのうち、一方を磁性材供給路となし、他方を研磨剤供給路となし、研磨終了後、研磨剤供給路内に残存する研磨剤を除去する洗浄剤を研磨剤供給路に供給する洗浄剤供給装置を設ける。
請求項(抜粋):
鉄芯の略平面状の端面を磁化して研磨面となした鉄芯と、この鉄芯を前記研磨面と直交する軸回りに回転させる鉄芯駆動装置と、前記研磨面にテープ状の被加工材を近接させて送る送り装置と、この被加工材表面と前記研磨面との間のギャップに、粉状の磁性材を供給する磁性材供給装置と、前記ギャップに研磨剤を供給する研磨剤供給装置とからなる磁気研磨装置において、前記鉄芯内部に回転軸を中心軸とする貫通孔を設け、この貫通孔内に内パイプと外パイプとを同軸に内設し、内パイプ内の空間と、内パイプと外パイプとの間の空間とのうち、一方を前記ギャップに磁性材を供給する磁性材供給路となし、他方を前記ギャップに研磨剤を供給する研磨剤供給路となし、研磨終了後に、前記研磨剤供給路内に残存する研磨剤を除去する洗浄剤を、前記研磨剤供給路に供給する洗浄剤供給装置を設けてなることを特徴とする磁気研磨装置。
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