基板搬送装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-205330
公開番号（公開出願番号）：特開2002-083854
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】クリーン化の必要のある空間をできるだけ小さくする。【解決手段】搬送方向移動体に対して水平回転可能な回転軸43に支持された収容ボックス50内に基板受け渡し部材60を配設する。従って、ガラス基板Gが収容ボックス50外に浮遊するパーティクルと接触することがほとんどなく、基板の搬送エリアをクリーン環境にする必要がなくなり、クリーン環境の形成コストを大幅に削減できる。

請求項１：

搬送路に沿って移動可能な搬送方向移動体と、前記搬送方向移動体に対して水平回転可能な回転軸を介して支持された収容ボックスと、前記収容ボックス内に設けられると共に、処理装置の搬入出口に対峙した姿勢において該搬入出口に離接する方向に移動可能であり、該収容ボックスに形成された開口部を通じて処理装置に対し、保持した基板を受け渡すことが可能な基板受け渡し部材とを具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (7件)：

H01L 21/68 , B65G 49/06 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G03F 7/16 501 , G03F 7/30 501 , H01L 21/027

FI (7件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/06 Z , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G03F 7/16 501 , G03F 7/30 501 , H01L 21/30 502 J

Fターム (31件)：

2H025AB13 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025EA04 , 2H088FA17 , 2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H090JC19 , 2H096CA12 , 2H096GA24 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031DA17 , 5F031FA02 , 5F031GA02 , 5F031GA06 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031NA03 , 5F031NA08 , 5F031PA26 , 5F046AA17 , 5F046AA22 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046CD08 , 5F046DA27

引用特許：

審査官引用 (8件)

基板搬送移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-292117 出願人：シャープ株式会社
空調機の風量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-287991 出願人：日立冷熱株式会社
特開平2-150645

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