電子線装置および電子線装置を用いたデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059897
公開番号（公開出願番号）：特開2002-260571
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】本発明は、二次電子放出率が高い部分の検出信号の信号強度を小さくし、検査率を向上させることができると共に、複数のビーム間のクロストークを無くすことができる電子線装置を得る。また、本発明は、このような電子線装置を用いて歩留り向上を目指したデバイス製造方法を得る。【解決手段】電子線源1から放出された電子線を複数の開口を有する開口板3に照射して得られる複数の一次電子線20を試料8に入射させ、試料8から放出される複数の二次電子線を一次光学系から分離して二次光学系に入射させて検出手段12に結像させ、検出手段12で二次電子線の検出信号を出力する電子線装置において、ローパスフィルター25を備え、検出手段12は、二次電子線の検出信号をローパスフィルター25に出力する。

請求項（抜粋）：

電子線源から放出された電子線を複数の開口を有する開口板に照射して得られる複数の一次電子線を試料に入射させ、上記試料から放出される複数の二次電子線を一次光学系から分離して二次光学系に入射させて検出手段に結像させ、上記検出手段で二次電子線の検出信号を出力する電子線装置において、ローパスフィルターを備え、上記検出手段は、二次電子線の検出信号を上記ローパスフィルターに出力することを特徴とする電子線装置。

IPC (9件)：

H01J 37/29 , G01N 23/225 , G01R 1/06 , G01R 31/00 , G01R 31/302 , H01J 37/22 , H01J 37/244 , H01J 37/28 , H01L 21/66

FI (9件)：

H01J 37/29 , G01N 23/225 , G01R 1/06 F , G01R 31/00 , H01J 37/22 , H01J 37/244 , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J , G01R 31/28 L

Fターム (35件)：

2G001AA03 , 2G001AA10 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001EA05 , 2G001FA01 , 2G001GA05 , 2G001GA06 , 2G001KA03 , 2G001KA20 , 2G001MA05 , 2G001SA01 , 2G011AA14 , 2G011AE03 , 2G036AA25 , 2G036BB09 , 2G036CA06 , 2G132AF13 , 2G132AL11 , 2G132AL12 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DH24 , 4M106DH33 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 5C033NN01 , 5C033NP05 , 5C033NP06 , 5C033NP08 , 5C033UU04 , 5C033UU05

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