特許
J-GLOBAL ID：200903000599303370
真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須藤 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-066237
公開番号（公開出願番号）：特開平11-246234
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：
【要約】【課題】 波長160nm以下の短波長域で高い光透過性を有し、光学的均質性、光化学的耐久性に優れ、かつ多様な透過率特性を持った製品を容易に作製することが可能なフッ化アルミニウムガラスを提供する。【解決手段】 フッ化アルミニウムならびにフッ化物で構成され、無水・無酸素としたことを特徴とする真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス。
請求項（抜粋）：
フッ化アルミニウムならびにフッ化物で構成され、無水・無酸素としたことを特徴とする真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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