特許

J-GLOBAL ID：200903000600064547

圧電共振部品の製造方法

発明者： 山本 隆
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-207530
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029767
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 容易、かつ、速やかに、寸法精度の高いサポート基板を形成し、設計変更に迅速に対応することを可能にするとともに、製造コストを低減させる。【構成】 平板状のセラミック基板(ユニット基板)3aにフリットガラス21を印刷して所定のパターンを形成し、これを焼き付けることによりサポート基板(用のユニット基板)4aに振動空間形成用の凹部7を形成するとともに、このサポート基板4aを用いて圧電素子(用のユニット基板)2aを挾持する。

請求項（抜粋）：

圧電基板に振動電極を配設した圧電素子を、該振動電極と対向する部分に所定の振動空間が形成されるようにサポート基板で挾持してなる圧電共振部品の製造方法において、平板状のセラミック基板にフリットガラスを印刷して所定のパターンを形成し、これを焼き付けることによりサポート基板に振動空間形成用の凹部を形成するとともに、このサポート基板を用いて圧電素子を挾持するようにしたことを特徴とする圧電共振部品の製造方法。