特許
J-GLOBAL ID：200903000604788302
X線モノクロメータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-148689
公開番号（公開出願番号）：特開平6-018700
出願日： 1991年06月20日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 X線の線幅を狭くして分解能を良くするとともに、試料面に対するX線入射角を大きくする。【構成】 光軸上に置かれた電子銃からターゲットに電子線を照射し、ターゲットから発生したX線を光軸周りに配置された幅の狭いリング状の分光結晶でブラッグ反射させ、一旦フォーカスしたX線を他の光軸に対して回転対称の放物面を有する分光結晶で反射させた後、X線を試料に照射する。その結果、X線の試料面に対する入射角を大きくとることが可能となる。
請求項（抜粋）：
光軸上に配置された電子銃及びターゲットと、該電子銃からの電子線照射によりターゲットから発生したX線をブラッグ反射させるトロイダル面を有するリング状の第1の分光結晶と、第1の分光結晶で反射して光軸上でフォーカスしたX線が入射され、ブラッグ反射させる光軸に対して回転対称の放物面を有する第2の分光結晶と、第2の分光結晶で反射したX線照射により試料から発生する光電子を検出する検出手段とを備えたX線モノクロメータ。
IPC (2件)：
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