特許

J-GLOBAL ID：200903000607836472

精密防振装置

発明者： 酒井 利一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175956
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012175
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 サーボ加速度計を不要にして、装置のコストダウンと信頼性の向上を図る。【構成】 与えられる制御信号に基き防振対象物の振動を制御するアクチュエータユニットと、防振対象物の位置を検出する位置センサと、この位置センサの出力に基づいて前記制御信号を出力する手段と、防振対象物の制振対象周波数の10倍以上である遮断周波数を有するハイパスフィルタおよびその遮断周波数以上の遮断周波数を有するローパスフィルタを介して前記位置センサの出力を前記駆動信号にフィードバックする手段とを備える。

請求項（抜粋）：

与えられる制御信号に基き防振対象物の振動を制御するアクチュエータユニットと、防振対象物の位置を検出する位置センサと、この位置センサの出力に基づいて前記制御信号を出力する手段と、防振対象物の制振対象周波数の10倍以上である遮断周波数を有するハイパスフィルタおよびその遮断周波数以上の遮断周波数を有するローパスフィルタを介して前記位置センサの出力を前記駆動信号にフィードバックする手段とを具備することを特徴とする精密防振装置。

IPC (4件)：

F16F 15/02 ,  F16F 9/04 ,  F16F 15/04 ,  G02F 1/13