多層感光性樹脂フィルム及びそれからなる絶縁膜

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-054434
公開番号（公開出願番号）：特開2003-255534
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】支持基材との接着性に優れた、多層感光性樹脂フィルム及びその製造方法を提供すること。【解決手段】支持基材上に形成された多層樹脂フィルムにおいて、基材に接する第1層が下記ポリアミド酸を含有することを特徴とする多層感光性樹脂フィルム。但しポリアミド酸は一般式(I)で表される繰り返し単位を有する。【化13】

請求項（抜粋）：

支持基材上に2層の樹脂層が形成された多層感光性樹脂フィルムであって、支持基材に接する第1層が下記ポリアミド酸を含有する層であり、第2層がネガ型感光性樹脂組成物からなる層であることを特徴とする多層感光性樹脂フィルム。【化1】(式中、aは0<a≦100の範囲内の有理数であり、樹脂中の共重合比を示す。mは1〜20の整数であり、繰り返し単位数を示す。R1〜R4は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数1〜20のアルキル基を示し、R5及びR6は、それぞれ独立して、炭素原子数1〜20のアルキレン基を示す。Zは縮合多環式芳香族基または次式(II)【化2】からなる群より選ばれた少なくとも1種の基である。ただし、Xは-CO-または-C(=N<SB>2</SB>)-を示し、Yは直接結合、-CH<SB>2</SB>-、-O-、-SO<SB>2</SB>-、-S-、-CO-、または-C(=N<SB>2</SB>)-を示す。n、pは各々独立して0または1の整数を示す。)

IPC (6件)：

G03F 7/038 504 , C08G 73/10 , G03F 7/004 512 , G03F 7/095 , G03F 7/11 503 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/038 504 , C08G 73/10 , G03F 7/004 512 , G03F 7/095 , G03F 7/11 503 , H01L 21/30 502 R

Fターム (42件)：

2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BD24 , 2H025BD52 , 2H025DA11 , 2H025DA35 , 2H025FA03 , 2H025FA15 , 2H025FA29 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PC065 , 4J043PC066 , 4J043PC165 , 4J043PC166 , 4J043QB15 , 4J043QB31 , 4J043RA35 , 4J043SA42 , 4J043SA43 , 4J043SA44 , 4J043SA45 , 4J043SB03 , 4J043TB01 , 4J043UA132 , 4J043UA142 , 4J043UA232 , 4J043UA241 , 4J043UA622 , 4J043UA712 , 4J043UB152 , 4J043UB212 , 4J043UB351 , 4J043ZA23 , 4J043ZA24 , 4J043ZA46 , 4J043ZA51 , 4J043ZB47

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