特許
J-GLOBAL ID:200903000615473923

X線分光素子およびそれを用いた蛍光X線分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉本 修司 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-058658
公開番号(公開出願番号):特開2003-255091
出願日: 2002年03月05日
公開日(公表日): 2003年09月10日
要約:
【要約】【課題】 エネルギーがSi -Kの吸収端未満で、高強度で十分に単色化された1次X線を生成できるX線分光素子などを提供する。【解決手段】 蛍光X線分析において、X線源3 から発生するX線2 を分光して、試料1 に照射する1次X線5 とするために用いられ、反射層4aとスペーサ層4bからなる層対を基板4c上に多数積層して構成されたX線分光素子4 であって、前記1次X線5 のエネルギーが、1400eV以上でSi -Kの吸収端のエネルギー未満であり、前記反射層4aの物質がSi で、前記スペーサ層4bの物質がB4 C、BまたはCである。
請求項(抜粋):
蛍光X線分析において、X線源から発生するX線を分光して、試料に照射する1次X線とするために用いられ、反射層とスペーサ層からなる層対を基板上に多数積層して構成されたX線分光素子であって、前記1次X線のエネルギーが、1400eV以上でSi -Kの吸収端のエネルギー未満であり、前記反射層の物質がSi で、前記スペーサ層の物質がB4 C、BまたはCであるX線分光素子。
IPC (3件):
G21K 1/06 ,  G01N 23/223 ,  G21K 5/02
FI (4件):
G21K 1/06 C ,  G21K 1/06 M ,  G01N 23/223 ,  G21K 5/02 X
Fターム (15件):
2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001EA02 ,  2G001EA03 ,  2G001EA09 ,  2G001EA20 ,  2G001KA01 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA06 ,  2G001NA07 ,  2G001NA17
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 蛍光X線分析装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-144054   出願人:理学電機工業株式会社, 株式会社東芝
  • 特開平2-306202
  • 特開平2-306202

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