MgO蒸着材及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須田正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-105569
公開番号（公開出願番号）：特開平10-297955
出願日： 1997年04月23日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】電子ビーム蒸着法にて蒸着しても、スプラッシュが殆ど発生せずかつ成膜されるMgO膜の厚さを略均一に形成できる。【解決手段】MgO蒸着材は電融MgOが60体積%以下の割合で含まれかつMgO焼結体の平均結晶粒径が1〜150μmであるMgO焼結体ペレットからなり、このMgO焼結体ペレットのMgO純度及び相対密度はそれぞれ99.5%以上及び96%以上である。またMgO焼結体ペレットに含まれる、Si及びAlの不純物が元素濃度で200ppm以下であり、Caの不純物が元素濃度で250ppm以下であり、Feの不純物が元素濃度で50ppm以下であり、Cr,V及びNiの不純物がそれぞれ元素濃度で10ppm以下であり、Na及びKの不純物がそれぞれ元素濃度で20ppm以下であり、Cの不純物が元素濃度で70ppm以下であり、Zrの不純物が元素濃度で150ppm以下である。

請求項（抜粋）：

電融MgOが60体積%以下の割合で含まれかつMgO焼結体の平均結晶粒径が1〜150μmであるMgO焼結体ペレットのMgO純度及び相対密度がそれぞれ99.5%以上及び96%以上であるMgO蒸着材。

IPC (5件)：

C04B 35/04 , C01F 5/02 , C23C 14/08 , C23C 14/24 , G09F 9/00 342

FI (5件)：

C04B 35/04 Z , C01F 5/02 , C23C 14/08 J , C23C 14/24 N , G09F 9/00 342 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-160155
特開昭63-218534
セラミックス成形体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-103188 出願人：新日本製鐵株式会社

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