特許
J-GLOBAL ID：200903000619286257
LCDカラーフィルタ基板周辺部残膜の除去方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303164
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130222
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】LCDカラーフィルタ基板周辺部の残膜をパターン部に影響を与えることなく化学的に溶解,除去し、カラーフィルタの不良率を減少させる。【構成】LCDカラーフィルタ基板1を垂直にセットする基板セット部11,セットした基板の底辺傾きチェック部21,基板底辺の希アルカリ液浸漬部31,純水吹付けによる水洗部41,クリーンエア吹付けによる乾燥部51が並設され、基板保持部61により基板セット部11から各部へカラーフィルタ基板1を順次移送し、基板底辺の残膜を溶解し、水洗,乾燥する。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタ基板の周辺部を希アルカリ液に浸漬した後、純水を吹きつけて洗浄し、クリーンエアを吹付け乾燥することを特徴とするLCDカラーフィルタ基板周辺部残膜の除去方法。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1335 500
