特許

J-GLOBAL ID：200903000620672756

蛍光X線分析装置

発明者： 長谷川 清 ,  曽根 裕也
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073853
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266701
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 蛍光X線分析装置において、試料に照射するX線が試料からはみ出しているか自動判定する。【解決手段】 前処理として、試料観察光学系で得られる映像のどの領域にX線が照射されるか調査し、判定処理として第1に試料の映像を取得し、第2に画像処理手段を用いてX線照射領域の映像を抽出し、第3に画像処理手段を用いて抽出された映像の中で輝度変化があるか判定を行う。 輝度変化がある場合、試料サイズがX線照射領域よりも小さいと判定する。

請求項（抜粋）：

試料にX線を照射するX線発生部と、 試料からの蛍光X線を検出するX線検出部と、 試料に照射するX線を絞るためのコリメータ部と、試料映像を撮像する撮像部と、 撮像した映像を画像処理する画像処理部と、を備えた微小部蛍光X線装置において、前処理として、撮像部で取得する試料映像と、X線の照射領域との位置関係をあらかじめ調査しておき、処理手順1として、試料の映像をモノクロ映像で取得し、処理手順2として、取得した試料の映像において、X線照射領域と一致する部分の映像を画像処理手段によって抽出し、処理手順3として、抽出した映像内の輝度変化を調査し、基準以上の輝度変化がある場合、試料に照射したX線が部分的に試料から外れていると判定できることを特徴とする蛍光X線分析装置。

Fターム (25件)：

2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001FA03 ,  2G001FA06 ,  2G001FA24 ,  2G001GA01 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA07 ,  2G001GA19 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA07 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001LA11 ,  2G001NA10 ,  2G001NA11 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17 ,  2G001SA02