特許

J-GLOBAL ID：200903000622777369

研磨用組成物

発明者： 伊 東 真 時 ,  鈴 村 聡
出願人/特許権者： 株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-124067
公開番号（公開出願番号）：特開平10-310766
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】 ディッシングおよびスクラッチの発生が少なく、被研磨物の研磨速度が大きく、かつ保存時の経時変化が小さくて安定性が良好である、研磨用組成物の提供。【解決手段】 二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、窒化ケイ素、および二酸化マンガンからなる群より選ばれる少なくとも1種類の研磨材、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、過塩素酸アンモニウム、硝酸アンモニウム、硫酸アンモニウム、硫酸水素アンモニウムおよびヨウ化アンモニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種類のアンモニウム化合物、ならびに水を含んでなることを特徴とする、研磨用組成物。

請求項（抜粋）：

二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、窒化ケイ素、および二酸化マンガンからなる群より選ばれる少なくとも1種類の研磨材、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、過塩素酸アンモニウム、硝酸アンモニウム、硫酸アンモニウム、硫酸水素アンモニウムおよびヨウ化アンモニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種類のアンモニウム化合物、ならびに水を含んでなることを特徴とする、研磨用組成物。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (4件)：

C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 321 P