特許

J-GLOBAL ID：200903000626871920

蒸着用インジウム・スズ酸化物材

発明者： 杉原 正彦
出願人/特許権者： 株式会社オプトロン ,  キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-220051
公開番号（公開出願番号）：特開平8-081763
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 蒸着材の林立、破裂飛散及び有害な粒状物の蒸着基板への付着、ピンホールのない膜を形成する事。【構成】 本発明は、蒸着用インジウム・スズ酸化物に酸化アルミニウムを添加することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

インジウム・スズ酸化物および酸化アルミニウムを含むことを特徴とする蒸着用インジウム・スズ酸化物材。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/08