基板搬送システム及びこの基板搬送システムが設けられた基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：保立浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-003850
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196437
出願日： 2000年01月12日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】搬送ロボットを備えた基板搬送システムにおいて、アームの回転により生ずる問題を効果的に解決する。【解決手段】搬送チャンバー3の周囲に複数の処理チャンバー5とロードロックチャンバー4とがゲートバルブ6を介して気密に接続されており、搬送チャンバー3内には、基板搬送システムが設けられている。基板搬送システムは、先端に方形の基板9を支持する基板支持具11を備えたアーム12を駆動部13により伸縮、回転及び上下運動を行わせて基板9を所定の位置に搬送する搬送ロボット1と、基板9を角の部分で支持する四つの基板支持板21とから成る係留具より構成されている。搬送ロボット1は、基板支持板21に基板9を一時的に係留して基板9を支持することなくアーム12の回転運動を行ってアーム12の伸縮運動の方向を変える。

請求項（抜粋）：

基板を搬送する搬送ロボットと、基板の搬送の際に一時的に基板を係留する係留具とより成る基板搬送システムであって、前記搬送ロボットは、先端に基板を支持する基板支持具が設けられたアームと、アームに伸縮運動、回転運動及び上下運動を行わせて基板を所定の位置に搬送する駆動部とから成るものであるとともに、前記搬送ロボットは、アームの伸縮方向を変更する場合には、前記係留具に基板を一時的に係留し、基板を支持することなくアームの回転運動を行ってアームの伸縮運動の方向を変えるものであることを特徴とする基板搬送システム。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B25J 9/06 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/68 A , B25J 9/06 D , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 C , H01L 21/302 B

Fターム (21件)：

3F060AA01 , 3F060DA10 , 3F060EB12 , 3F060EC12 , 3F060GB06 , 5F004AA14 , 5F004AA16 , 5F004BB18 , 5F004BC06 , 5F004DA00 , 5F004DB00 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA14 , 5F031GA10 , 5F031GA35 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031MA04

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