特許

J-GLOBAL ID：200903000629725267

耐プラズマ性シール

発明者： 芦田 哲哉 ,  三ツ井 孝禎 ,  笈田 弘紀
出願人/特許権者： 三菱電線工業株式会社
代理人 (1件)： 中谷 武嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-153585
公開番号（公開出願番号）：特開2003-343727
出願日： 2002年05月28日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】 プラズマ照射条件下で、耐久性に優れた、かつ、密封性・シール性に優れた耐プラズマ性シールを提供する。【解決手段】 相互に平行な第1平坦面1と第2平坦面2の間に介装される平面密封用シールである。金属製ジャケット3と、弾性部材8とから成る。金属製ジャケット3は第1平坦面1・第2平坦面2に圧接する密封用突起4,5を有し、かつ、外径方向に開口する凹周溝部6を有する。弾性部材8は凹周溝部6に嵌合する嵌着部9を有し、シールリップ部10, 10を備える。

請求項（抜粋）：

相互に平行な第1平坦面と第2平坦面の間に介装される平面密封用シールであって、上記第1平坦面・第2平坦面に圧接する一対の密封用突起を有し外径方向に開口する凹周溝部を有する金属製ジャケットと、該凹周溝部に嵌合した嵌着部を有し該嵌着部に連設されると共に上記第1平坦面・第2平坦面に圧接する一対のシールリップ部を有する有機材製の弾性部材と、を備えたことを特徴とする耐プラズマ性シール。

FI (4件)：

F16J 15/06 F ,  F16J 15/06 E ,  F16J 15/06 N ,  F16J 15/06 P

Fターム (10件)：

3J040BA03 ,  3J040EA01 ,  3J040EA15 ,  3J040EA17 ,  3J040EA22 ,  3J040EA41 ,  3J040FA01 ,  3J040FA05 ,  3J040HA01 ,  3J040HA21

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ガスケット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-017874   出願人：株式会社プロヴァック
• シール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-300988   出願人：三菱電線工業株式会社