内部誘導コイルアンテナ及び導電性チャンバ壁を有するRFプラズマエッチング反応器

発明者： , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-571478
公開番号（公開出願番号）：特表2002-525866
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：

【要約】本発明は、処理チャンバ内に固定された誘導性アンテナを提供する。アンテナは、導電性のチャンバ壁に取付けることができるように、また熱をチャンバ壁に容易に伝達するように構成することができる。導電性チャンバ壁は、バイアス回路のための改良された陽極になり、またアンテナの温度調整を可能にする。1実施の形態では、アンテナは、セラミックのような電気的には絶縁性の、熱的には伝導性の非スパッタリング材料によって取り囲まれている導体からなり、チャンバ壁に取付けることができる。誘導電力の減衰を減少させるために、アンテナの露出された表面は間隙によって分離することができ、これらの間隙は、アンテナ上の導電性堆積物内を渦電流が流れるのを阻止する。隣接するアンテナ巻回を、並びに巻回自体を間隙によって分離することができる。間隙の寸法及び形状は、導電性エッチング副産物が間隙を橋絡するのを阻止するようにする。アンテナリング間にダミーリングを配置すること、及びクリーニングを容易にするように取り外すことができる。プロセスガスは間隙を通してチャンバ内へ供給することができる。

請求項（抜粋）：

誘導結合プラズマ反応器であって、 a)壁を有する反応器チャンバと、 b)前記反応器チャンバ内に配置され、前記チャンバ壁に結合されていて、プロセスガスを励起してプラズマを生成させる誘導性アンテナとを備え、 c)前記誘導性アンテナは、非導電性ジャケットによって取り囲まれている導体からなり、 d)前記アンテナと前記チャンバ壁との結合によって形成される熱交換導管を更に備えている、ことを特徴とする誘導結合プラズマ反応器。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 , B01J 19/08 , H05H 1/46 , H01J 27/16 , H01J 37/08

FI (5件)：

B01J 19/08 H , H05H 1/46 L , H01J 27/16 , H01J 37/08 , H01L 21/302 B

Fターム (22件)：

4G075AA30 , 4G075AA45 , 4G075AA63 , 4G075BC06 , 4G075CA03 , 4G075CA25 , 4G075DA02 , 4G075EA01 , 4G075EB01 , 4G075EB41 , 4G075EC21 , 4G075EC30 , 4G075FB02 , 4G075FC11 , 4G075FC15 , 5C030DD01 , 5C030DE10 , 5C030DG09 , 5F004AA15 , 5F004BA20 , 5F004BB29 , 5F004CA04

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